yy.vip易游-启迪原子申请利用定制波形发生器控制等离子体工艺腔室中离子能量分布的系统及方法专利提高了等体刻蚀及相关工艺中能量和电流的精度与一致性

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　　国家知识产权局信息显示，启迪原子私人有限公司申请一项名为“利用定制波形发生器控制等离子体工艺腔室中离子能量分布的系统及方法”的专利，公开号CN121601539A，申请日期为2025年8月。

　　专利摘要显示，本发明公开了一种利用定制波形发生器控制等离子体工艺腔室中离子能量分布的系统及方法，用于等离子体处理系统的实时控制与优化。具体地，本发明涉及与卡盘相连的定制波形发生器。该系统采用了一种系统控制器，可将工艺配方划分为设定阶段和处理阶段。设定阶段用于确定等离子体处理过程中电压波形的优化斜率。这一创新提高了等离子体刻蚀及相关工艺中离子能量和电流的精度与一致性。

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